Hope儀器真空控制系統(tǒng)用途:用于實(shí)驗(yàn)腔體的真空度自動(dòng)控制,實(shí)現(xiàn)測(cè)試過(guò)程中真空的程序定向控制。
Hope儀器真空控制系統(tǒng)
用途:用于實(shí)驗(yàn)腔體的真空度自動(dòng)控制,實(shí)現(xiàn)測(cè)試過(guò)程中真空的程序定向控制。
控制范圍:真空泵極限真空-100000pa
控制精度:<1000pa ±1pa
>1000pa 0.1%
泄漏率:5*10-9Pa.m3/S.He以下
控制速度:5min以內(nèi)完成
程序步數(shù):30步,隨意設(shè)置。
真空計(jì):英福康真空計(jì) 0-50torr 0-1000
Hope儀器真空控制系統(tǒng)
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